檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Jeng-Ywan Jeng".ecommittee (精準) and cadvisor.raw="葉文昌"
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為了獲得高性能高均一性的薄膜電晶體,我們藉由透鏡陣列輔助單晶定位技術,將TFT的通道位置以避開晶種的方式製作於粒徑為10μm的單晶矽晶粒中。另外我們也以半吸光層輔助結晶的技術,成功的在非晶矽膜以及多…
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為了達成塑膠基板薄膜電晶體的目標,我們成功開發出利用半吸光層經過準分子雷射回火後,可以實現低溫閘極絕緣膜的改質效果。而此絕緣膜是由100℃具吸收係數的SiONx與SiO2組成。 我們利用吸收係數40…